等離子清洗機的應用

等離子清洗機的應用行業

1.3C 電子行業

玻璃蓋板：提高蓋板表面活性，確保鍍膜附著力。

觸摸顯示屏：LCD 、OLED 、TP   貼合前，表面清洗活化。

手機攝像頭模組清潔，LENS、   微馬達(VCM)   組裝前清洗。

2.半導體光電行業

晶圓、 IC表面活化清潔

LED 封裝、引線鍵合前表面活化

COB/COF/COG   封裝表面活化清潔

半導體硅片(Wafer): 去除氧化膜和有機物，提高晶元表面浸潤性。

3.高分子材料

PP 、PC 、PE 、PVC 、PET 、PPS 、PEI 、FVMQ 、PTFE、

尼龍等橡膠、塑膠材料表面粘結、涂覆、絲印、移印、電鍍 前處理。

高分子聚合物材料表面改性，改變表面親(疏)水性。

織物印染轉印處理

玻璃纖維：在其表面產生刻蝕，提高表面粗糙度，增大表面 積，使玻璃纖維易于與基體形成更好的物理接觸。

4.PCB線路板

HDI 板：去除激光鉆孔后形成的碳化物，提高PTH 工藝的良率與可 靠性。

PCB/FPC板/軟硬結合板/多層軟板/的孔壁除殘膠；表面清潔和活 化；提高軟硬結合板結合力。

Teflon板：表面活化，提高孔壁與鍍銅層結合力。

BGA 貼裝：使焊盤表面達到清潔、粗化和活化的效果，提高 BGA 貼裝的成功率和可靠性。

5.汽車制造

汽車內外飾件材料：表面活化改性，改善粘接、涂覆效果。 發動機油封片(PTFE)、    點火線圈：表面清洗活化。

EPMD 密封條：噴涂潤滑涂層或植絨膠水之前的預處理工藝 汽車電子、車載電氣儀器表，灌膠前預處理。

6.生物醫療

醫用導管：通過減少蛋白質在導管上粘合來盡量減少凝血酶原，提高生物相容性。

藥物輸送：解決藥物粘附在計量腔壁上的問題。

微流體器件：可以氧化微通道的表面，使它們變成親水性，防止氣泡的形成。有效地促進帶電表面的電滲透流動。

7.新能源行業

鋰電池：極耳表面清洗可清除有機物和微小顆粒，提高了后續焊接的可靠性；組裝過程：清潔電芯表面臟污，粗化電芯表面，提高貼膠或涂膠的附著力；極片涂覆前：金屬薄帶在涂覆電極材料時，需要對金屬薄帶進行清洗去除有機污染物提高表面張力。

太陽能電池：低溫等離子體處理多晶硅電池表面的方法，具有使氨化硅表面鈍化、去除磷硅玻璃、清洗電池片以及優化表面絨面等作用，利用該技術可提升太陽能電池片的產品性能。

8. 其他行業

光學鏡片：

鍍膜前:去除表面經離心力清洗和超聲波清洗后的有機殘留物，對后道鍍膜技術起到積極作用。

鍍膜后:溢鍍處理。

國防軍工：

航空航天連接器等材料表面處理。

軍工領域：先進軍事武器裝備材料表面處理。

應用案例

采用純氧氣，等離子體的激發頻率為40KHz 的設備對芳綸纖維材料表面進行清洗，射頻功率為 70W，清洗時間為 10分鐘，時間間隔分別為 8 小時、24 小時、48 小時和 72 個小時，然后對芳綸纖維材料涂覆 H01-101H 清漆 +H06-Y010 底漆，經過 GB/T 9286 測試其附著力。先對材料表面進行噴漆并烘干，再對不同的時間間隔進行百格實驗。

測試結果，如圖4 中可以看出，清洗 10 分鐘后間隔 8 小時、24 小時、48 小時和 72 小時之后都達到了 GB/T 9286 規定的一級指標要求，附著力測試結果符合國家標準的要求。

為了進一步證明40KHz 為最佳清洗功率，用 13.56MHz的設備進行清洗，功率都采用 70W。如圖 5 與圖 6 中所取得的點為對應清洗頻率與清洗時間下接觸角實驗中測得的 9個數據從小到大所取得的中值。圖 5 中如“135”表示頻率為13.56MHz，清洗時間 5 分鐘 ；“4010”表示頻率為 40KHz, 清洗時間 10 分鐘。由圖 5 和圖 6 所見，40KHz 清洗 5-10 分鐘，測得的接觸角最為理想。